微量氧分析儀是一種精密的氣體分析儀表，不同行業實際使用過程中，工況差距非常大。不同工況也對測量結果有著一定的影響，使用過程中需要注意以下的事項，來避免因工況和認為使用原因導致的測量結果不準確。

　　在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常，一些因素可能會影響微量氧分析儀的測量使用，比如：

　　1、背景氣干擾

　　如燃料電池式分析儀，不同的主背景氣（與背景氣的摩爾質量有關），會影響分析結果。并且少量的氫氣也會對分析結果產生較大的影響。

　　對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的赫茲電池式氧分析儀才能排除于擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數據。其他燃料電池式氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。

　　2、干擾雜質影響

　　干擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式微氧儀的分析結果產生影響，最近又發現微量的N2O對氧化鋯式微量氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當的分析儀，才能得到準確的結果。